Paddle Cantilevers in Carbide di Silicium
Produttu detallatu è applicazione
Grande forza di carica di wafer in carburu di siliziu SiSiC / SiC cantilever paddle / beam hè adatta per un sistema di carica è manipulazione automatica di robot perchè hà prestazioni stabile, non deformazione in alta temperatura è grande forza di carica di wafer. Siccomu a sezione di a paletta cantilever hè stabile senza deformazione, hè pussibule fà una cialda di dimensioni più grandi cù tubi di furnace esistenti. Una grande pala di carica di cialda di carburu di silicuu SiSiC / SiC cantilever paddle / beam pò esse applicata à LPVCD in base à u so coeficiente di espansione termica simile cù u rivestimentu LPVCD, chì prolunga assai u cicculu di manutenzione è di pulizia, è riduce significativamente l'inquinanti.
Parametri tecnichi di reazione ligatu carburu di siliziu RBSIC:
| articulu | unità | dati |
| Temperatura di applicazione | ℃ | 1380 |
| densità | G / cm3 | > = 3.02 |
| Porosità aperta | % | <0,1 |
| Scala di Durezza di Moh | 13 | |
| Forza di curvatura | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Modulu di elasticità | Gpa | 330 (20 ℃) |
| Gpa | 300 (1200 ℃) | |
| Conduttività termica | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Coefficiente di espansione termica | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Alcaline à prova di acidi | Eccellente |
Caratteristiche:
a. Ùn si deforma micca à alta temperatura è a forza di carica di cialde hè grande;
b. Eccellente resistenza à scossa termica è longa vita di serviziu;
c. U coefficiente di espansione termica di a paletta cantilever hè estremamente chjucu, ciò chì prulonga assai u cicculu di mantenimentu è di pulizia;
è riduce drasticamente i pollutanti
Altri mobuli in fornu fatti di ceramica di carburu di siliziu
Oltre à a pala cantilever SiSiC in carburu di siliziu sinterizatu per u carregamentu di wafer, producemu ancu altri mobuli in fornu cumpresi fasci di carburu di siliciu RBSIC / SISIC, tubi di bocca, tubu di bocca spirale, tubu di bocca di turbulenza, lamelle di carburu di silicuu SIC / piastra di messa in opera è tubi di raffreddamentu RBSIC .
Prudutti resistenti à l'usura RBSIC / SISIC in carburu di siliziu
Perchè u nostru pruduttu RBSIC / SISIC in carburu di siliziu hà i vantaghji di una resistenza à l'usura eccellente, resistenza à a corrosione è lunga vita di serviziu, pò ancu esse trasformatu in rivestimenti resistenti à l'usura chì ponu esse facilmente installati in tubi o cicloni di trasfurmazione.
